一、設(shè)備簡(jiǎn)介

本設(shè)備為臥式雙開門高溫真空爐，主要用于一氧化硅的高溫反應(yīng)及收集，兼有一般高溫氣氛爐使用功能。設(shè)備由爐體、爐門鎖緊裝置、加熱系統(tǒng)、充放氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)、變壓器及聯(lián)接電纜等組成。

二、設(shè)備優(yōu)勢(shì)

1、采用臥式雙開門結(jié)構(gòu)，取放料更加方便；

2、采用高純石墨發(fā)熱體及石墨氈保溫層，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，發(fā)熱效率高；

3、有單室和雙室加熱兩種結(jié)構(gòu)，雙室加熱設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)中雙室之間設(shè)有過渡室，便于更加調(diào)節(jié)雙室溫度梯度，便于工藝探索及氧化亞硅的沉積；

4、高真空擴(kuò)散機(jī)組、羅茨泵機(jī)組、滑閥泵機(jī)組等多種真空系統(tǒng)可選，真空度高；

5、設(shè)有充放氣系統(tǒng)，結(jié)合真空系統(tǒng)可快速完成腔體內(nèi)部環(huán)境的置換，量身定做的真空/氣氛環(huán)境，保障發(fā)熱體在更佳的環(huán)境下工作，更好的完成樣品燒結(jié)；

6、人性化配置，可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)操作與智能操作的多元選擇；

7、一爐多用，可作為單純的真空燒結(jié)爐或氣氛燒結(jié)爐使用；

8、多重可視系統(tǒng)及安全互鎖系統(tǒng)，實(shí)時(shí)為設(shè)備的正常運(yùn)轉(zhuǎn)保駕護(hù)航；

三、技術(shù)參數(shù)